真空係統指低於該地區大氣壓的稀簿氣體狀態。

 

2、真空度 

處於真空狀態下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。

3、真空度單位 

通常用托（Torr）為單位，近年國際上取用帕（Pa）作為單位。

1托＝1/760大氣壓＝1毫米汞柱

4、托與帕的轉換 

1托＝133.322帕　或　1帕＝7.5×10-3托

5
、平均自由程 

作無規則熱運動的氣體粒子，相繼兩次碰撞所飛越的平均距離
，用符號“λ”表示。

6

、流量 

單位時間流過任意截麵的氣體量
，符號用“Q”表示，單位為帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。

7、流導 

表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒（L/s）
，在穩定狀態下，管道流導等於管道流量除以管道兩端壓強差。符號記作“U”。 

　　U＝Q/(P2- P1)

8、壓力或壓強 

氣體分子作用於容器壁的單位麵積上的力，用“P”表示。

9、標準大氣壓 

壓強為每平方厘米101325達因的氣壓
，符號：（Atm）。

10
、極限真空 

真空容器經充分抽氣後，穩定在某一真空度，此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經12小時煉氣，再經12小時抽真空，最後一個小時每隔10分鍾測量一次，取其10次的平均值為極限真空值。

11、抽氣速率 

在一定的壓強和溫度下
，單位時間內由泵進氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率，簡稱抽速。即Sp＝Q/（P－P0）

12、熱偶真空計 

利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關，元件的溫度又與氣體的熱傳導有關的原理來測量真空度的真空計。

13
、電離真空計（又收熱陰極電離計） 

youtongzhuangshoujiji

，zhawangheweiyuzhawangzhongxindedengsigoucheng，tongzhuangshoujijizaizhawangwaimian。reyinjifashedianzidianliqitifenzi，lizibeishoujijishouji，genjushoujideliziliudaxiaolaiceliangqitiyaqiangdezhenkongji。

14、複合真空計 

由熱偶真空計與熱陰極電離真空計組成，測量範圍從大氣~10-5Pa。

15、冷陰極電離計 

陽(yang)極(ji)筒(tong)的(de)兩(liang)端(duan)有(you)一(yi)對(dui)陰(yin)極(ji)板(ban)，在(zai)外(wai)加(jia)磁(ci)場(chang)作(zuo)用(yong)
，陽(yang)極(ji)筒(tong)內(nei)形(xing)成(cheng)潘(pan)寧(ning)放(fang)電(dian)產(chan)生(sheng)離(li)子(zi)，根(gen)據(ju)陰(yin)極(ji)板(ban)收(shou)集(ji)的(de)離(li)子(zi)流(liu)的(de)大(da)小(xiao)來(lai)測(ce)定(ding)氣(qi)體(ti)壓(ya)強(qiang)的(de)真(zhen)空(kong)計(ji)。

16
、電阻真空計 

利用加熱元件的電阻與溫度有關，元件的溫度又與氣體傳導有關的原理，通過電橋電路來測量真空度的真空計。

17
、麥克勞真空計（壓縮式真空計） 

將待測的氣體用汞（或油）壓縮到一極小體積，然後比較開管和閉管的液柱差，利用玻義爾定律直接算出氣體壓強的一種絕對真空計。

18、B－A規 

這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規。收集極是一根細絲，放在柵網中心，燈絲放在柵網外麵，因而減少軟X射線影響，延伸測量下限
，可測超高真空。

19、水環真空泵 

泵的葉輪轉子旋轉而產生水環。由於轉子偏心旋轉而使水環與葉片間容積發生周期性改變而進行抽氣的機械真空泵。

20、往複真空泵 

利用活塞的往複運動而進行抽氣的機械真空泵。

21、油封機械真空泵 

用油來保持密封的機械真空泵，可分為定片式、旋片式
、滑閥式、餘擺線式等。

22、羅茨真空泵 

具有一對同步高速旋轉的鞋底形轉子的機械真空泵，此泵不可以單獨抽氣，前級需配油封、水環等可直排大氣的真空泵。

23

、渦輪分子真空泵 

有一高速旋轉的葉輪，當氣體分子與高速旋轉的渦輪葉片相碰撞時就被驅向出氣口再由前級泵抽除。

24
、油擴散真空泵 

kuosanbengpenkouzhongpenchugaosuzhengqiliu。zaifenziliutiaojianxia
，qitifenzibuduandixiangzhengliuzhongkuosan，bingbeizhengqidaixiangbengchukouchuzhujibeiyasuohouzaiyouqianjibengpaichu。

25

、低溫真空泵 

利用20K以下的低溫表麵凝聚吸附氣體的真空泵。

26、冷阱（水冷擋板） 

置於真空容器和泵之間，用於吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置。

27
、氣鎮閥 

油you封feng機ji械xie真zhen空kong泵beng的de壓ya縮suo室shi上shang開kai一yi小xiao孔kong，並bing裝zhuang上shang調tiao節jie閥fa，當dang打da開kai閥fa並bing調tiao節jie入ru氣qi量liang，轉zhuan子zi轉zhuan到dao某mou一yi位wei置zhi，空kong氣qi就jiu通tong過guo此ci孔kong摻chan入ru壓ya縮suo室shi以yi降jiang低di壓ya縮suo比bi，從cong而er使shi大da部bu分fen蒸zheng汽qi不bu致zhi凝ning結jie而er和he摻chan入ru的de氣qi體ti一yi起qi被bei排pai除chu泵beng外wai起qi此ci作zuo用yong的de閥fa門men稱cheng為wei氣qi鎮zhen閥fa。

28、真空冷凍幹燥 

真空冷凍幹燥
，也稱升華幹燥。其原理是將材料冷凍，使其含有的水份變成冰塊
，然後在真空下使冰升華而達到幹燥目的。

29、真空蒸鍍 

在真空環境中，將材料加熱並鍍到基片上稱為真空蒸鍍，或叫真空鍍膜。

30
、真空幹燥 

利用真空環境下沸點低的特點來幹燥物品的方法。

31、真空係統常用名稱 

(1)主泵：在真空係統中，用於獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。

(2)前級泵：用於維持某一真空泵前級壓強低於其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。

(3)粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣
，並將係統壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵，就是粗油泵。

(4)維持泵：zaizhenkongxitongzhong，qilianghenxiaoshi
，bunengyouxiaodiliyongqianjibeng。weicipeizhiyizhongrongliangjiaoxiaodefuzhubenglaiweichizhubenggongzuo，cibengjiaoweichibeng。rukuosanbengchukouchupeiyitaixiaoxingxuanpianbeng，jiushiweichibeng。