(1)清潔
，無油蒸汽返流

   渦wo輪lun分fen子zi真zhen空kong泵beng可ke不bu用yong任ren何he阱jing
，按an操cao作zuo規gui程cheng工gong作zuo
，就jiu能neng為wei被bei抽chou容rong器qi提ti供gong一yi個ge極ji為wei清qing潔jie的de真zhen空kong環huan境jing，且qie不bu含han有you任ren何he碳tan氫qing化hua合he物wu。由you於yu現xian代dai的de渦wo輪lun分fen子zi泵beng除chu大da泵beng外wai很hen少shao用yong油you潤run滑hua的de了le，對dui於yu小xiao泵beng多duo用yong油you脂zhi潤run滑hua，也ye有you用yong空kong氣qi軸zhou承cheng的de
，但dan磁ci懸xuan浮fu軸zhou承cheng用yong得de較jiao多duo。近jin幾ji年nian來lai也ye有you不bu少shao幹gan式shi前qian級ji泵beng出chu現xian
，使shi渦wo輪lun分fen子zi泵beng係xi統tong不bu存cun在zai油you蒸zheng汽qi返fan流liu，使shi它ta真zhen正zheng成cheng為wei一yi種zhong清qing潔jie的de幹gan式shi高gao真zhen空kong泵beng。

 

(2)使用方便

zaixuduoyingyongzhong
，wolunfenzizhenkongbengkebuyonggaozhenkongfamenhuocuzhenkongfa。zhishijiandandiyiandianniu，bengbiannengkaishigongzuo。congdaqiyalikejiangzhijixianyali。zhezhongxitongkeyitongguowolunfenzibengjinxingcuchou，keyizhijiasudaogongzuosuduweizhi。zheyangjiukeyibuyongfamen
、管道
、阱、閥fa門men控kong製zhi器qi等deng真zhen空kong元yuan件jian。同tong時shi也ye消xiao除chu了le這zhe些xie元yuan件jian所suo帶dai來lai的de故gu障zhang。因yin此ci渦wo輪lun分fen子zi泵beng係xi統tong所suo占zhan的de空kong間jian小xiao，而er且qie渦wo輪lun分fen子zi泵beng的de安an裝zhuang方fang向xiang不bu受shou限xian製zhi


，可ke在zai任ren意yi方fang向xiang安an裝zhuang（用油潤滑的泵除外
，它隻能在垂直±5°範圍內工作）。這個特點，可用於安裝位置受限製的地方。

 

(3)氣體輸送能力強

    大多數渦輪分子真空泵對於輸送輕氣體（如氫、氦）的(de)能(neng)力(li)很(hen)強(qiang)。因(yin)而(er)它(ta)非(fei)常(chang)適(shi)於(yu)超(chao)高(gao)真(zhen)空(kong)下(xia)的(de)工(gong)藝(yi)操(cao)作(zuo)。對(dui)於(yu)那(na)些(xie)富(fu)氫(qing)的(de)工(gong)藝(yi)過(guo)程(cheng)
，氦(hai)質(zhi)譜(pu)檢(jian)漏(lou)儀(yi)等(deng)場(chang)合(he)均(jun)可(ke)得(de)到(dao)應(ying)用(yong)。有(you)專(zhuan)門(men)設(she)計(ji)用(yong)於(yu)抽(chou)除(chu)腐(fu)蝕(shi)性(xing)氣(qi)體(ti)的(de)渦(wo)輪(lun)分(fen)子(zi)泵(beng)，適(shi)用(yong)於(yu)刻(ke)蝕(shi)
、反應離子刻蝕，離子束加工
，低壓化學氣相沉積，外延及離子注入等工藝操作。在這些工藝過程中，抽除的氣體會對低溫泵、離子泵、擴(kuo)散(san)泵(beng)油(you)等(deng)有(you)腐(fu)蝕(shi)作(zuo)用(yong)。甚(shen)至(zhi)也(ye)會(hui)破(po)壞(huai)標(biao)準(zhun)的(de)未(wei)加(jia)保(bao)護(hu)的(de)渦(wo)輪(lun)分(fen)子(zi)泵(beng)。由(you)於(yu)渦(wo)輪(lun)分(fen)子(zi)泵(beng)屬(shu)於(yu)傳(chuan)輸(shu)型(xing)泵(beng)，被(bei)抽(chou)氣(qi)體(ti)可(ke)穿(chuan)膛(tang)而(er)過(guo)，不(bu)在(zai)泵(beng)內(nei)積(ji)存(cun)。因(yin)而(er)它(ta)適(shi)於(yu)氣(qi)體(ti)負(fu)荷(he)高(gao)的(de)工(gong)藝(yi)過(guo)程(cheng)。如(ru)濺(jian)射(she)、刻蝕等。

 

 (4)適於超高真空應用

    一台密封和除氣良好的渦輪分子真空泵
，配以性能良好的雙級旋片泵（或同樣性能的幹式前級泵）

，其極限真空一般可達到10-9～10-10Torr（即133.3～13.33nPa）之間。若一台渦輪分子泵再串一台渦輪分子泵
，用金屬密封並除氣良好的泵，一般其極限壓力在1×10-10～1×10-11Torr（即13.33～1.333nPa）之間。而且不像低溫泵或離子泵那樣
，渦輪分子泵在超高真空條件下能滿抽速運轉。這些性能再加上它有良好的清潔性（測不到碳氫化合物），顯然用戶會選擇渦輪分子泵用於高分辨率質譜儀
，分子束外延設備及超高真空分析儀器等設備上的。

 

(5)高壓力下性能良好

   有些渦輪分子真空泵的入口壓力可在10-1～10-3Torr（即13.33Pa～133.3mPa）之間運行。在這個壓力範圍內，離子泵不能應用，對於低溫泵需要節流抽速或經常再生
，對擴散泵的工作也會變得不穩定。

 

 (6)循環的時間短

   多數渦輪分子真空泵，尤其小一些的，要達到正常的運行速度的時間
，一般需要1～3min。對dui於yu不bu同tong品pin種zhong和he型xing號hao的de泵beng有you所suo不bu同tong。並bing且qie能neng立li即ji關guan閉bi，並bing可ke暴bao露lu大da氣qi。這zhe種zhong快kuai速su循xun環huan特te性xing在zai樣yang品pin輸shu入ru係xi統tong中zhong很hen有you用yong，尤you其qi對dui手shou提ti式shi氦hai檢jian漏lou儀yi有you用yong。

 

 (7)正常使用時間長

   在(zai)某(mou)些(xie)應(ying)用(yong)中(zhong)，渦(wo)輪(lun)分(fen)子(zi)泵(beng)的(de)正(zheng)常(chang)使(shi)用(yong)時(shi)間(jian)要(yao)比(bi)其(qi)它(ta)泵(beng)優(you)越(yue)。因(yin)為(wei)在(zai)重(zhong)氣(qi)體(ti)負(fu)荷(he)和(he)閥(fa)門(men)漏(lou)氣(qi)的(de)情(qing)況(kuang)下(xia)，會(hui)引(yin)起(qi)低(di)溫(wen)泵(beng)經(jing)常(chang)不(bu)定(ding)時(shi)的(de)再(zai)生(sheng)或(huo)離(li)子(zi)泵(beng)經(jing)常(chang)修(xiu)複(fu)，而(er)渦(wo)輪(lun)分(fen)子(zi)泵(beng)使(shi)用(yong)還(hai)能(neng)消(xiao)除(chu)因(yin)泵(beng)油(you)對(dui)真(zhen)空(kong)室(shi)的(de)汙(wu)染(ran)。

 

 2、渦輪分子泵缺點

   任何真空泵都有不足之處，渦輪分子真空泵也不例外。下麵介紹它存在的一些缺點

.(1)設備費用高

   在抽速大於1000L/sdewolunfenzibengyaobikuosanbenghediwenbengdeshebeitouzida。ranerwolunfenzibengzaiyouyugongyiqitihuoqitayuanyinerbunengshiyongkuosanbenghediwenbengdeteshuchanghexiatashihenhaoyongde。ruoyuxiaoxinghuozhongxingkuosanbengxiangbi，xiaowolunfenzibengshixiangdangguide。ranerkaolvdaokuosanbengxitongxuyaofamen、擋板、阱、閥門控製器和管道等，總的花費來計算，二者的差別也就不大了，在某些情況下
，渦輪分子泵還是便宜的選擇。

 

2)對顆粒物或沉積物敏感

   若物體（螺釘、玻璃碎片
、燈絲或矽片）落入正在運轉的渦輪分子泵中，渦輪會遭到損壞，往往需返回製造廠進行維修。一旦出事故損壞就是嚴重的
，不會有幾件回用的。重修、更(geng)換(huan)零(ling)件(jian)是(shi)很(hen)貴(gui)的(de)。為(wei)了(le)工(gong)作(zuo)安(an)全(quan)起(qi)見(jian)，在(zai)泵(beng)入(ru)口(kou)處(chu)裝(zhuang)上(shang)細(xi)孔(kong)眼(yan)的(de)過(guo)濾(lv)網(wang)，以(yi)保(bao)護(hu)泵(beng)的(de)正(zheng)常(chang)運(yun)轉(zhuan)。這(zhe)種(zhong)措(cuo)施(shi)對(dui)泵(beng)的(de)有(you)效(xiao)抽(chou)速(su)損(sun)失(shi)較(jiao)大(da)。敷(fu)在(zai)葉(ye)片(pian)上(shang)厚(hou)的(de)沉(chen)積(ji)物(wu)，會(hui)造(zao)成(cheng)對(dui)葉(ye)片(pian)的(de)磨(mo)損(sun)和(he)通(tong)道(dao)堵(du)塞(sai)
，也(ye)會(hui)影(ying)響(xiang)轉(zhuan)子(zi)的(de)不(bu)平(ping)衡(heng)。如(ru)果(guo)一(yi)些(xie)粒(li)子(zi)進(jin)入(ru)軸(zhou)承(cheng)
，造(zao)成(cheng)磨(mo)損(sun)，能(neng)降(jiang)低(di)泵(beng)的(de)工(gong)作(zuo)壽(shou)命(ming)。因(yin)此(ci)在(zai)某(mou)些(xie)應(ying)用(yong)中(zhong)
，安(an)裝(zhuang)保(bao)護(hu)措(cuo)施(shi)是(shi)必(bi)要(yao)的(de)。

 

(3)噪音與振動

   congshiyongjingyanlaikan
，zhenkongbenghuichuxianzhendonghezaoyinwenti，duobanshizhouchengsunhuaihepinghengxingchasuochuxiandewenti。zaizhengchangdegongzuozhong
，bengchuyupingjingdezhuangtai，zuidazhenfuzai0.1～0.001μm(即100～1nm)之間,在某些精密設備上得到應用。而測不出易覺察的振動如圖5所示。對渦輪分子泵（巴爾蔡司公司生產的330型渦輪分子泵）進行頻譜分析。振動速度V的單位為μm/s，頻率的單位為Hz，計算振幅可用公式：d=V/2πf，式中d為振幅μm，f為頻率Hz，產生的最大振幅＜0.005μm（＜5nm）如此小的振動，渦輪分子泵運轉很平穩，噪音很小,對某些特殊應用也是問題。

 

(4)破碎問題

    有(you)些(xie)用(yong)戶(hu)由(you)於(yu)害(hai)怕(pa)轉(zhuan)子(zi)葉(ye)片(pian)破(po)碎(sui)而(er)不(bu)敢(gan)使(shi)用(yong)渦(wo)輪(lun)分(fen)子(zi)真(zhen)空(kong)泵(beng)，破(po)碎(sui)是(shi)在(zai)泵(beng)正(zheng)常(chang)運(yun)轉(zhuan)時(shi)，葉(ye)輪(lun)突(tu)然(ran)遭(zao)到(dao)吸(xi)入(ru)異(yi)物(wu)或(huo)軸(zhou)承(cheng)磨(mo)損(sun)而(er)出(chu)現(xian)破(po)碎(sui)的(de)。通(tong)常(chang)要(yao)有(you)保(bao)護(hu)措(cuo)施(shi)，如(ru)在(zai)入(ru)口(kou)處(chu)加(jia)過(guo)濾(lv)網(wang)，破(po)碎(sui)通(tong)常(chang)是(shi)可(ke)以(yi)避(bi)免(mian)的(de)。

 

(5)暴露大氣易引起事故

   任何高真空泵在運轉期間都會碰到這種事故。如規管破裂，入口處管道、閥門、密mi封feng出chu現xian問wen題ti，都dou可ke能neng突tu然ran使shi真zhen空kong泵beng入ru口kou暴bao露lu在zai大da氣qi壓ya之zhi下xia。不bu同tong型xing號hao的de渦wo輪lun分fen子zi泵beng，耐nai大da氣qi壓ya衝chong擊ji的de能neng力li是shi不bu同tong的de。有you些xie泵beng會hui因yin葉ye片pian共gong振zhen彎wan曲qu相xiang碰peng而er損sun壞huai，但dan也ye有you些xie泵beng受shou大da氣qi衝chong擊ji而er不bu損sun壞huai。最zui好hao的de辦ban法fa是shi廠chang家jia通tong過guo試shi驗yan得de出chu結jie果guo。擴kuo散san泵beng和he低di溫wen泵beng在zai工gong作zuo中zhong遇yu到dao這zhe種zhong突tu然ran事shi故gu也ye比bi較jiao麻ma煩fan
，比bi渦wo輪lun分fen子zi泵beng的de抵di抗kang能neng力li差cha，如ru擴kuo散san泵beng油you被bei氧yang化hua會hui迅xun速su汙wu染ran真zhen空kong室shi，低di溫wen泵beng要yao求qiu再zai生sheng等deng。

 

要想渦輪分子真空泵有較長的工作壽命和最佳的運轉性能，用戶一定要按操作規程和使用步驟進行。