這種泵具體可分為：

 

1、牽引分子泵 氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量，被驅送到泵的出口。

2

、渦輪分子泵 靠高速旋轉的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態下工作。

3、複合分子泵 它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯組合起來的一種複合型的分子真空泵。

 

 複合分子真空泵的結構特點：

 

      複合式分子真空泵是渦輪分子真空泵與牽引分子真空泵的串聯組合，集兩種泵的優點於一體。分子真空泵在很寬的壓力範圍內 ((10-6 ～ 1Pa) 具有較大的抽速和較高的壓縮比
，大大提高了泵的出口壓力。法國 Alcatle 公司生產的一種采用氣體靜壓軸承和動密封的複合分子泵，可以做到完全無油，且不用前級真空泵直接向大氣中排氣。

 

設計要點：

 

      在zai複fu合he分fen子zi真zhen空kong泵beng的de設she計ji中zhong
，必bi須xu處chu理li好hao渦wo輪lun級ji與yu牽qian引yin級ji之zhi間jian的de應ying配pei和he銜xian接jie關guan係xi。由you於yu渦wo輪lun級ji有you較jiao大da的de抽chou氣qi麵mian積ji，抽chou速su很hen大da
，而er牽qian引yin級ji溝gou槽cao抽chou氣qi麵mian積ji較jiao小xiao，在zai兩liang種zhong結jie構gou的de聯lian接jie處chu，由you渦wo輪lun葉ye片pian壓ya縮suo下xia來lai的de氣qi體ti分fen子zi的de流liu動dong方fang式shi突tu然ran轉zhuan變bian，使shi氣qi體ti分fen子zi的de運yun動dong在zai聯lian接jie處chu由you有you序xu變bian成cheng無wu序xu，至zhi使shi返fan流liu增zeng加jia，抽chou氣qi能neng力li下xia降jiang。因yin此ci，在zai設she計ji時shi應ying在zai渦wo輪lun級ji和he牽qian引yin級ji轉zhuan換huan處chu加jia上shang過guo渡du級ji結jie構gou，以yi提ti高gao泵beng的de抽chou氣qi性xing能neng。

       suizhefuhefenzizhenkongbengdebuduangaijin，qiyingyonglingyuyuelaiyueguang
，zaimouxiechouqixitongshangkeyitidaikuosanbeng
，suoduanlexitongdechouqishijian，bingkehuodewuyouwurandeqingjiezhenkonghuanjing。

  

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