數shu碼ma顯xian微wei鏡jing為wei了le要yao電dian子zi束shu在zai樣yang品pin表biao麵mian上shang掃sao描miao，必bi須xu在zai顯xian微wei鏡jing區qu以yi外wai的de無wu場chang空kong間jian中zhong



，使shi用yong附fu加jia的de掃sao描miao線xian圈quan，在zai線xian圈quan中zhong通tong以yi電dian流liu從cong而er使shi原yuan來lai沿yan直zhi線xian行xing進jin的de電dian子zi軌gui跡ji發fa生sheng偏pian轉zhuan.顯微鏡如果把光軸方向稱為Z軸

，則數碼顯微鏡狀掃描就是指電子束既有X方向的掃描(行掃)
，又有y方向的掃描(禎掃).根據Lorentz力的原理可知，橫向磁場H
，顯微鏡可使縱向運行的電子束受到X方向的偏轉
，而另一種橫向磁場H二可引起電子束的Y方向偏轉。如果掃描線圈中的電流呈鋸齒波形式。則顯微鏡的偏轉It將從零開始逐漸加大，至某一定值後又立刻回到原來的零位移。鋸齒波的周期T對應於一次行掃或偵掃。顯微鏡行掃周期Tn比幀掃周期TV小得多。兩者的比值決定了電子束在樣品上掃描的一幀中所包含的行數，也稱為掃描光柵的線數N，N=T,MIT行.因為掃描電鏡中采用的工作距離很小
，故掃描線圈隻能放在末透鏡的物方空間，即讓電子束進入該透鏡場區之前;先受到橫向偏轉。為了使沿軸射來的數碼顯微鏡都能參與成像
，而不致被偏轉一次就打到鏡筒壁或其他組件上.所以電鏡中應該采用上、下兩組掃描線圈(每組均包括X和Y偏轉的二個線圈)
，使數碼顯微鏡偏轉兩次後在末光闌孔中心處與光軸相交，並進入透鏡場區。

　　

　　前麵已經提到:偏pian光guang顯xian微wei鏡jing樣yang品pin上shang電dian子zi束shu的de掃sao描miao與yu顯xian像xiang管guan中zhong電dian子zi束shu的de掃sao描miao嚴yan格ge同tong步bu。所suo以yi顯xian像xiang管guan熒ying光guang屏ping上shang的de圖tu樣yang是shi徉yang品pin被bei掃sao描miao區qu的de放fang大da像xiang。顯xian微wei鏡jing設she顯xian像xiang管guan熒ying光guang屏ping的de寬kuan度du為weiB。它是固定值(如B=10cm)油代表樣品上被掃區的寬度，則掃描像的放大倍數為:它基本上取決於顯像管中偏轉線圈電流與鏡筒中掃描線圈電流之比。實際的情況是:xianweijingzhongpianzhuanxianquandianliuzhibaochihengding，tatongguoyigeshuaijianwangluoyujingtongzhongsaomiaoxianquanchuanlian。suoyipianguangjingtongzhongdesaomiaodianliuzhijiaoxiao，erqiekeyilinghuogaibian。zheyangxianweijingtuxiangdefangdabeishujiukeyihenfangbiandibiandong。ciwai

，zaixuandingsaomiaodianliudangyihou
，gaibianyangpinsuochudegongzuojuli，yekegaibianyangpinshangbeisaoqudekuandu，congertiaojiepianguangxianweijingtuxiangdefangdabeishu。