一、簡介
1
、原理
使一束自然光經起偏器變成線偏振光。再經1/4bochangpian，shitabianchengtuoyuanpianzhenguangrushezaidaicedemomianshang。fansheshi
，guangdepianzhenzhuangtaijiangfashengbianhua。tongguojiancezhezhongbianhua
，biankeyituisuanchudaicemomiandemouxieguangxuecanshu。
2
、結構
本儀器分為光源、接收器
、主機

、電子及通訊四部分
，外觀參看下圖。
2.1 光源：采用波長為632.8nm的氦氖激光光源①其特點是：光強大
、光譜純
、波長穩定性好。
2.2 接收器：采用光電倍增管⑤，把光訊號變為電訊號
，經放大後輸出至微機，由微機選擇出消光位置的角度值。
2.3 主機部分：除以上兩項外，還有起偏組件②，樣品台③
，檢偏組件④。
2.4 電子及通訊部分⑥：采集光強及對應的角度值並傳輸到計算機，再接收由計算機發出的指令逐步靠近消光點。

二
、 儀器的安裝（在安裝和校正之前首先要看明白注意事項）
1、首先將儀器安放在儀器室的工作台上，用軟毛刷或綢布清理儀器表麵的塵土。
2、將主機上的各條導線插到下方的電源箱上，可根據針數的不同判斷插孔位置，再將紅、黑兩個插頭插入相應顏色的插孔內（此兩個插座帶有高壓，插入時必須先斷電再操作，並且不要觸摸金屬部分），再將儀器用電源線接入220V，50Hz交流電，最後用USB線連接好主機與計算機。
3、所有連線連接好之後，打開主機電源開關，將儀器的配套光盤放入光驅
，計算機上會檢測到USB設備
，然後點擊“下一步”使用默認設置
，直到USB設備安裝完成；之後，在“我的電腦”中雙擊“光盤”圖標打開光盤，雙擊光盤根目錄下的“Setup”安裝儀器的配套軟件，具體操作見第5頁的“軟件的使用方法”。

三
、儀器的校正
儀(yi)器(qi)出(chu)廠(chang)前(qian)均(jun)已(yi)調(tiao)好(hao)，滿(man)足(zu)設(she)計(ji)要(yao)求(qiu)
，但(dan)由(you)於(yu)長(chang)期(qi)使(shi)用(yong)或(huo)運(yun)輸(shu)中(zhong)的(de)振(zhen)動(dong)可(ke)能(neng)造(zao)成(cheng)儀(yi)器(qi)上(shang)的(de)各(ge)部(bu)分(fen)位(wei)置(zhi)關(guan)係(xi)稍(shao)有(you)變(bian)動(dong)。為(wei)保(bao)證(zheng)儀(yi)器(qi)精(jing)度(du)需(xu)重(zhong)新(xin)調(tiao)整(zheng)
，步(bu)驟(zhou)如(ru)下(xia)：
注意：在以下所提到的光路調整中不要用眼睛直接觀察激光束，需要觀察光強時請用白屏（或白紙等）擋住光束，觀察白屏上反射光點的亮度。
打開主機開關，正對儀器時右手為光源側，左手為接收側
，使光源側的遊標零點對準大刻度盤的90°位置
，當：
1． 光源側無光線射出或射出的光強太弱
請(qing)將(jiang)光(guang)源(yuan)側(ce)的(de)遮(zhe)光(guang)套(tao)管(guan)推(tui)回(hui)並(bing)將(jiang)偏(pian)振(zhen)擋(dang)光(guang)罩(zhao)取(qu)下(xia)，將(jiang)此(ci)側(ce)光(guang)欄(lan)摘(zhai)下(xia)，並(bing)將(jiang)調(tiao)整(zheng)裝(zhuang)置(zhi)插(cha)入(ru)調(tiao)整(zheng)孔(kong)
，如(ru)果(guo)光(guang)束(shu)不(bu)能(neng)通(tong)過(guo)兩(liang)個(ge)調(tiao)整(zheng)裝(zhuang)置(zhi)上(shang)的(de)孔(kong)則(ze)需(xu)將(jiang)光(guang)源(yuan)側(ce)的(de)擋(dang)光(guang)罩(zhao)摘(zhai)下(xia)，鬆(song)開(kai)反(fan)射(she)鏡(jing)固(gu)定(ding)螺(luo)絲(si)，調(tiao)節(jie)反(fan)射(she)鏡(jing)的(de)角(jiao)度(du)，直(zhi)到(dao)激(ji)光(guang)束(shu)可(ke)垂(chui)直(zhi)通(tong)過(guo)兩(liang)個(ge)調(tiao)整(zheng)裝(zhuang)置(zhi)上(shang)的(de)孔(kong)，並(bing)且(qie)強(qiang)度(du)無(wu)明(ming)顯(xian)減(jian)弱(ruo)

，說(shuo)明(ming)光(guang)束(shu)方(fang)向(xiang)正(zheng)確(que)
，在(zai)此(ci)步(bu)驟(zhou)中(zhong)盡(jin)量(liang)隻(zhi)調(tiao)整(zheng)上(shang)側(ce)的(de)棱(leng)鏡(jing)
，當(dang)此(ci)棱(leng)鏡(jing)調(tiao)節(jie)無(wu)法(fa)使(shi)光(guang)線(xian)方(fang)向(xiang)正(zheng)確(que)則(ze)需(xu)先(xian)取(qu)下(xia)此(ci)棱(leng)鏡(jing)，將(jiang)調(tiao)整(zheng)裝(zhuang)置(zhi)2裝入棱鏡下方的圓孔內
，調整下側的棱鏡，使光束穿過此裝置的兩個孔，調整完成後取下調整裝置2
，zaijiangshangcedelengjingzhuangshang，bingtiaozhengweizhishiguangshutongguolianggetiaozhengzhuangzhishangdekong，tiaohaohoukequxiatiaozhengzhuangzhi，jiangguanglantiaozhengdaoshidangweizhihousuojin
，gaishangxianqianquxiadedangguangzhao
，zaijiangpianzhendangguangzhaokouhao
，zeguangyuancedeguanglutiaozhengwancheng；
2． 當光點偏出接收側的光欄孔時
需要將遮光套管推回並取下接收側的偏振擋光罩，將光欄座鬆開並調整到光點通過光欄的中心

；
3． 當光點可以通過接收側的光欄孔時
可ke直zhi接jie裝zhuang上shang調tiao整zheng光guang欄lan
，觀guan察cha光guang束shu是shi否fou也ye能neng通tong過guo調tiao整zheng光guang欄lan


，如ru不bu能neng則ze要yao先xian摘zhai下xia固gu定ding立li板ban，觀guan察cha光guang束shu能neng否fou打da入ru接jie收shou器qi遮zhe光guang管guan的de中zhong心xin，如ru不bu能neng就jiu要yao調tiao整zheng接jie收shou器qi的de角jiao度du
，之zhi後hou再zai裝zhuang上shang固gu定ding立li板ban並bing調tiao整zheng好hao角jiao度du，使shi光guang束shu通tong過guo調tiao整zheng光guang欄lan
；
4． 將光源側和接收側的遊標零點各對準大刻度盤的70°位(wei)置(zhi)，在(zai)樣(yang)品(pin)台(tai)上(shang)放(fang)置(zhi)隨(sui)機(ji)攜(xie)帶(dai)的(de)樣(yang)品(pin)
，使(shi)反(fan)射(she)光(guang)點(dian)通(tong)過(guo)接(jie)收(shou)光(guang)欄(lan)及(ji)調(tiao)整(zheng)光(guang)欄(lan)，如(ru)果(guo)光(guang)點(dian)偏(pian)出(chu)接(jie)收(shou)光(guang)欄(lan)，則(ze)要(yao)調(tiao)整(zheng)樣(yang)品(pin)台(tai)下(xia)方(fang)的(de)調(tiao)節(jie)手(shou)鈕(niu)，使(shi)光(guang)點(dian)射(she)入(ru)接(jie)收(shou)光(guang)欄(lan)及(ji)調(tiao)整(zheng)光(guang)欄(lan)，並(bing)鎖(suo)緊(jin)樣(yang)品(pin)台(tai)，取(qu)下(xia)調(tiao)整(zheng)光(guang)欄(lan)，裝(zhuang)上(shang)接(jie)收(shou)側(ce)的(de)偏(pian)振(zhen)擋(dang)光(guang)罩(zhao)；
5． 再將光源側及接收側的遊標零點各對準大刻度盤的90°位置，進入自動橢偏儀軟件操作窗口，點擊“控製”菜單下的“校正”，打開校正窗口，點擊窗口中的“放置1/4波片”按鍵，繼續點擊“校正1/4波片”儀器會自動校正光路中元件的相對角度位置，校正後退出此窗口
，此步驟完成之後對任意樣品測量時光路及樣品台都無需再調整。

四、儀器使用和測量方法
主機部分
1


、接通主機電源;
2、將主機上的各條線與下部對應的插座連接好；
3、打開主機開關
，麵板上的電源指示燈及開關內的指示燈同時亮起；
4、打開電腦，用USB線連接好主機與電腦
，此時主機麵板上的USB狀態指示燈亮起，並且電腦右下角的托盤中出現USB設備的圖標

；
5、ruguoyiqixiaozhengzuowanhoumeiyouzaiciyidongyiqizekeyizhijiejiangyangpinfangzaiyangpintaishang，fangzhiyangpinshi，shouxianladongyangpintaihoufangdeshouniushiyangpinjialikaigudingban，jiangyangpinfangru，daicebiaomianchaoxianggudingban
，jiangdaicedianfangzhizaihengxiangkaicaodezhengzhongjigudingkuaidezhongxianshang（也可直接觀察光束在樣品上的光點
，使待測點處於光點中心處即可），然後慢慢鬆開手鈕，夾穩樣品後即可進行測量
，測量後扶住樣品拉開樣品夾取下樣品，再更換其他樣品。
注意：在拉開樣品夾之前請勿拖拉樣品以免破壞表麵的鍍膜。
6、在測量樣品完成後要對樣品進行周期判斷。當光源波長為6328A°時，SiO2膜的一個周期約為283nm左右，在膜厚大於一個周期時
，需采用雙角度測量的方法，在單一角度的條件下無法判斷周期，測量值對應的是第一周期內的厚度值。
7、如果已知周期時，可在建表法中以第一周期內為準查找出厚度
，並橫向找出對應周期以得出鍍膜的真實厚度。

五、注意事項：
1． 不要讓光源遊標和接收遊標同時停在90°weizhi，yimiankaijihoujiguangshuchangshijianzhijiesherujieshouguanglanduijieshouzhuangzhizaochengsunhuai，zaifeiceliangqingkuangxiayangpintaishangbuyaofangyangpin，yimianfansheguangchangshijiansherujieshouguanglanduijieshouzhuangzhizaochengsunhuai；
2． 對於以玻璃等透射率較高的物質為襯底的樣品由於上
、下(xia)表(biao)麵(mian)的(de)反(fan)射(she)
，反(fan)射(she)後(hou)可(ke)能(neng)出(chu)現(xian)兩(liang)個(ge)光(guang)點(dian)
，在(zai)正(zheng)確(que)校(xiao)正(zheng)儀(yi)器(qi)後(hou)應(ying)該(gai)隻(zhi)有(you)主(zhu)光(guang)點(dian)能(neng)夠(gou)射(she)入(ru)接(jie)收(shou)光(guang)欄(lan)
，如(ru)果(guo)不(bu)能(neng)確(que)定(ding)主(zhu)光(guang)點(dian)也(ye)可(ke)以(yi)在(zai)調(tiao)節(jie)消(xiao)光(guang)時(shi)，看(kan)有(you)明(ming)暗(an)變(bian)化(hua)的(de)為(wei)主(zhu)光(guang)點(dian)，副(fu)光(guang)點(dian)可(ke)以(yi)不(bu)管(guan)，並(bing)盡(jin)量(liang)使(shi)副(fu)光(guang)點(dian)不(bu)射(she)入(ru)接(jie)收(shou)光(guang)欄(lan)，以(yi)免(mian)對(dui)測(ce)量(liang)結(jie)果(guo)產(chan)生(sheng)影(ying)響(xiang)
；
3． 更geng換huan激ji光guang管guan時shi
，可ke將jiang管guan座zuo全quan部bu拆chai下xia，再zai將jiang後hou蓋gai旋xuan下xia，去qu掉diao電dian源yuan接jie線xian，將jiang激ji光guang管guan從cong散san熱re罩zhao內nei取qu出chu

，換huan好hao激ji光guang管guan再zai按an原yuan位wei置zhi裝zhuang回hui去qu，注zhu意yi激ji光guang輸shu出chu方fang向xiang不bu要yao裝zhuang反fan。激ji光guang器qi裝zhuang回hui原yuan位wei置zhi後hou
，如ru果guo光guang束shu不bu能neng夠gou射she出chu入ru射she一yi側ce的de光guang欄lan，則ze需xu要yao按an照zhao第di5頁“儀器的校正”中各步驟重新調節各部分，，特別注意，激光管正負極不能接錯
；
4． 1/4波長片一般情況下不允許轉動，以免造成測量誤差
；
5． 儀器在使用前建議用已知片進行檢查(已知膜厚和折射率的鍍膜片)防止差錯；
6． 儀器應放在光線較暗、濕度低
、灰塵少的室內使用；